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［学内公開限定］酸化物半導体酸化亜鉛多結晶薄膜の機能性制御

概要	酸化物半導体である酸化亜鉛（ZnO）は、タイヤへの添加剤、日焼け止め、医薬品などに用いられている身近な材料である。ガラス基板上にも多結晶薄膜として比較的容易に成膜可能であり、液晶ディスプレイや太陽電池の透明電極として応用可能である。多結晶薄膜では、結晶の軸が一方向にそろう配向性や結晶粒サイズ、粒界など、薄膜の組織形態が物性に大きな影響を与える。さらに、ウルツ鉱型構造であるZnOは結晶対称心を欠くｃ軸方向に極性を有し、薄膜物性に対しても重要な制御因子となることが分かってきた。ZnO多結晶薄膜の機能性制御に関するこれまでの取り組みを紹介する。
Tags	令和2年度第11回サイエンスカフェ
作成日	2021-04-23 15:17:47
更新日	2023-06-27 10:48:26

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